MEMS kHz 振盪器

SiTime 的微電機系統 (MEMS) kHz 振盪器是極小型、低功率 32 kHz 元件，專為行動電話和其他電池供電應用進行最佳化。此矽晶 MEMS 技術能達到超小覆蓋區和晶片級封裝。這些零件能達到更高的元件置放靈活性，而且無需外部負載電容，因此可節省額外的元件數量與板空間。SiTime 採用 NanoDrive™ 技術，這是一種原廠可編程輸出，可降低電壓擺幅，從而最大限度地降低功率。還提供 TempFlat MEMS™ 技術，該技術可在 1.2 mm x 1.2 mm 的覆蓋區內達到首款 32 kHz ±3 百萬分之一 (ppm) 超級 TCXO。

SiTime 的 MEMS 振盪器含有 MEMS 諧振器和可編程類比電路。kHz MEMS 振盪器採用 SiTime 獨特的 MEMS First™ 製程打造。其中一個關鍵製造步驟是 EpiSeal™，在此階段 MEMS 諧振器會以超過 +1,000°C 的溫度進行退火。EpiSeal 能打造極堅固、乾淨的真空腔，能裝入 MEMS 諧振器，確保在嚴峻環境中達到高效能與高可靠度。