MEMS 感測器

加速計
Murata 是汽車用低加速感測器的全球領導廠商。 其豐富的加速計產品涵蓋高效能數位和類比加速計，可用於關鍵安全性汽車和工業應用。 Murata 加速計採用其自行研發的 3D MEMS 技術為架構，推出眾多優異的產品特色和優點，適合絕大多數高要求應用。 感測元件和量測 ASIC 採用雙列直插或雙列扁平直插式塑膠封裝，有引腳可進行表面黏著或迴流焊接。 使用矽膠提供環境防護，因此能在潮濕環境以及溫度變化下達到優異效能與可靠度。

此外，具有耐用的感測元件設計以及過阻尼頻率響應，即便在嚴峻和振動環境中也可能達到優異的效能。 量測方向與安裝方向成平行或直角。 ASIC 含有一個晶片上 EEPROM 記憶體，其中含有校準係數可進行單位互換。 Murata 加速計含有增強型故障偵測功能：數位啟動式自我測試、校準記憶體同位檢查或總和檢查，以及持續的連接故障偵測。 此系列產品，預計用於水平或垂直量測。 零點溫度相依性低於 1 mg/°C。

測斜儀
Murata 的傾斜 MEMS 感測器是高準確性水平與傾斜量測儀器的最佳選擇。 SCA103T 系列提供最高的精準性，採用差動量測原理補償所有共模誤差和雜訊效應。 具有 MEMS 市場中最佳耐震能力，能在活動機械、車輛、飛機、建築機械以及手持式裝置中提供無後顧之憂的量測功能。

陀螺儀
Murata Electronics Oy 開發和製造陀螺儀元件，並在該公司經過實證的 3D MEMS 技術與高度整合電子元件中整合感測器架構（包括陀螺儀和加速計）。 工業陀螺儀提供通常僅有昂貴模組產品享有的效能等級。 感測元件以及量測電路會組裝到預先模製的塑膠雙列直插式 (DIL) 封裝中，並使用矽膠提供防護，使用不鏽鋼蓋覆蓋。 所有產品皆符合 RoHS 指令，適用於無鉛迴流焊接。