Sensirion

SFC6000D/SFM6000D 質量流量控制器和儀表

Sensirion 的高精密度流量感測器在單個晶片上結合精密感測器元件和訊號處理技術

Sensirion SFC6000D/SFM6000D 質量流量控制器和儀表圖片SFC6000D、SFM6000D 產品的核心是無與倫比的 Sensirion CMOSens® 技術。它將高精密度感測器元件與最先進的訊號處理技術結合在單個晶片上，以提供經過精確校準、溫度補償的訊號。得益於這種感測器技術，Sensirion 的流量計和控制器能以極具吸引力的系統成本，實現無與倫比的速度、準確度和可重複性。由於 CMOSens 晶片具有出色的長期穩定性，因此無需重新校準。

SFC6000D 提供超快的趨穩時間和高控制範圍。SFC6000D、SFM6000D 已針對多種氣體進行原廠校準，在機械連接器方面具有高靈活性，可以與現成的元件互換。

SFC6000D、SFM6000D 的高效能與低成本使其成為廣泛應用的最佳選擇，例如充氣、FOUP、分析儀器、塗層和醫療設備、製程自動化、氣體混合等等。

特點
  • 結合塑膠本體與高整合度電子產品的顛覆性概念
  • 尺寸小，重量輕
  • 高準確度／可重複性 (設定點的 2%/0.2%)
  • 寬廣的控制範圍 (500:1)
  • 超快的趨穩時間 (100 ms)
  • RS485 和 I²C 數位介面
  • 可更換的 6 mm 直插式、下裝式連接器
  • NIST 認可的校準
  • 無漂移，無需現場重新校準

SFC6000D Mass Flow Controllers and Meters

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Evaluation Kit

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發佈日期： 2023-02-22