SXUV100 廣頻光電二極體
Opto Diode SXUV100 廣頻光電二極體是專為 EUV 和真空 UV 偵測而設計
Opto Diode SXUV100 是用於極紫外光 (EUV) 及真空紫外光 (VUV) 輻射可靠偵測的大面積光電二極體。SXUV100 具有 100 mm² 的感光面積和無窗設計,可在 1 nm 至 200 nm 的波長範圍內提供直接光子吸收及穩定的響應度。
SXUV100 是專為高真空、超高真空環境而設計,非常適合用於同步加速器光束線、電漿診斷及其他要求嚴苛的科學或工業應用。該光電二極體採用氧化物鈍化的矽接面,具備長期穩定性與抗輻射能力。
SXUV100 具備低暗電流、高分流電阻、耐用的機械設計,能在對 EUV/VUV 精準量測要求嚴苛的應用中提供高效能表現。
- 寬光譜響應:1 nm 至 200 nm (EUV 與 VUV)
- 大感光面積:100 mm²
- 無窗、氧化物鈍化矽設計
- 高真空環境下的穩定性
- 低暗電流和高分流電阻
- 堅固耐用的結構確保可長期使用
- 同步加速器光束線診斷
- EUV 和 VUV 光譜
- 電漿監測和診斷
- 半導體微影工具
- 真空紫外光輻射感測
- 科學和工業研究儀器