AXUV100G 大面積光電二極體
Opto Diode AXUV100G 是用於極紫外光 (EUV) 及高能量偵測的大面積光電二極體
Opto Diode AXUV100G 是高效能的光電二極體,設計用於在真空或受控環境中直接偵測極紫外光 (EUV)、軟 X 光、高能量輻射。此偵測器具有 100 mm² 的大感光面積,特別適用於需要高靈敏度、廣域覆蓋的應用。
AXUV100G 採用穩定的氧化物鈍化矽光電二極體結構與無窗設計,可在 1 nm 至 200 nm 光譜範圍內實現最大光子傳輸。其低暗電流、高分流電阻支援低雜訊量測,使其成為科學儀器、同步加速器光束監測、半導體微影製程工具的理想選擇。
AXUV100G 專為高真空相容性設計,在精密度和穩定性至關重要的嚴峻條件下,也能提供可靠的效能。其堅固的設計、大面積格式使其能夠輕鬆整合到光束線診斷、高能量偵測系統中。
- 1 nm 至 200 nm 的寬光譜響應 (EUV 和軟 X 光)
- 大感光面積:100 mm²
- 無窗、氧化物鈍化結構,可達到最大光子靈敏度
- 高分流電阻,實現低雜訊運作
- 低暗電流
- 真空相容設計
- 耐用封裝,具有優異的機械穩定性
- 同步加速器光束線監測
- EUV 微影與半導體計量
- 軟 X 光和高能量光子偵測
- 科學研究與儀器
- 電漿診斷
- 極紫外光輻射量測
- 高真空偵測系統